泰克Keithley 6400 系列皮安表

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 5? 位 6485 型皮安表可以測(cè)量 10fA 至 20mA 的電流，速度高達(dá)每秒 1000 個(gè)讀數(shù)。6487 型皮安表/電壓提供比 6485 更高的精度和更快的上升時(shí)間、一個(gè) 500V 源以及一種與電容設(shè)備配合使用的阻尼功能。6482 型雙通道皮安表/電壓源提供比 6485 型或 6487 型更高的測(cè)量分辨率和雙獨(dú)立 30V 電壓偏置源。?

6482型雙通道皮安表/電壓源提供兩個(gè) 獨(dú)立的皮安表/電壓源通道，適合需要雙通 道測(cè)量的多種低電平測(cè)量應(yīng)用。該產(chǎn)品在 測(cè)量能力已被證明的吉時(shí)利6485型5位半皮 安表的基礎(chǔ)上，提高了測(cè)量分辨率，增加 了一個(gè)第二測(cè)量通道以及兩個(gè)獨(dú)立的30V電 壓偏置源。

由于具有雙通道測(cè)量能力，6482型雙 通道皮安表/電壓源成為一個(gè)強(qiáng)大的測(cè)量 工具，適合分析多通道器件，監(jiān)控材料中 多個(gè)位置的電流，并立即記錄來自多傳感 器的數(shù)據(jù)。雙通道能力更容易實(shí)現(xiàn)控制和 數(shù)據(jù)聚集。更高的通道密度增加了受限空 間內(nèi)的儀器數(shù)量（和通道）。

主要特點(diǎn):

• 雙通道6位半測(cè)量能力

• 雙±30V偏置電源

• 測(cè)量電流高達(dá)20mA

• 測(cè)量電流分辨率1fA

• 0–10V模擬輸出用于高分辨率 測(cè)量反饋

• 支持裝配工藝、最終測(cè)試、部件 binning和技術(shù)規(guī)范

• 每通道具3000點(diǎn)緩存，支持測(cè)試 完成后數(shù)據(jù)發(fā)送

• 觸發(fā)連接，用于器件進(jìn)倉與掃描 測(cè)試操作

• IEEE-488與RS-232接口

應(yīng)用

• 制造元器件測(cè)試

• 雙二極管測(cè)試

• 半導(dǎo)體器件測(cè)試

• 多引腳器件測(cè)試

• 離子束監(jiān)測(cè)

• 電子顯微鏡

可編程限幅和濾波器

與吉時(shí)利絕大部分儀器一樣，對(duì)于6482型雙通道皮安表/電壓源的電流和電壓 極限限幅，可以進(jìn)行編程，以確保關(guān)鍵點(diǎn)（如測(cè)試開始）期間的器件保護(hù)。這些儀 器還提供均值與中值濾波器，可以用于將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在緩存中。

比率測(cè)量或σ測(cè)量

6482型雙通道皮安表/電壓源可以在兩個(gè)完全隔離的通道之間提供比例測(cè)量或 σ測(cè)量。通過前面板或GPIB接口可以接入這些功能。對(duì)于包括多個(gè)探頭的測(cè)試設(shè) 置，這個(gè)功能支持目標(biāo)控制能力。

擴(kuò)展測(cè)試和測(cè)量靈活性的特點(diǎn)

? 按比例的電壓模擬輸出。此輸出允許6482型皮安表將測(cè)量結(jié)果發(fā)送至數(shù)字多用 表（DMM）、數(shù)據(jù)采集板、示波器或長(zhǎng)圖記錄儀等設(shè)備。
? 220V過載保護(hù)。高負(fù)載保護(hù)和堅(jiān)固設(shè)計(jì)能讓6482型皮安表耐受過量溢出。
? 一鍵式前面板設(shè)計(jì)。按一次按鈕就能輕松配置功能，無需復(fù)雜的功能菜單。
? 內(nèi)建觸發(fā)鏈路接口。觸發(fā)鏈路接口簡(jiǎn)化了6482型皮安表與其它儀器及電壓源的 同步。此接口在單個(gè)連接器上結(jié)合了6種單獨(dú)可選的觸發(fā)線路，以實(shí)現(xiàn)輕松、 直接地控制系統(tǒng)中的全部?jī)x器。
? RS-232和IEEE-488接口。這些接口能輕松將6482型皮安表集成進(jìn)自動(dòng)測(cè)試和測(cè) 量系統(tǒng)中。
? 顯示on/off開關(guān)。對(duì)于光敏器件的研究，如測(cè)量光電二極管的暗電流，可以關(guān) 閉前面板顯示，以防引入光線而導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確性大幅降低。
? REL和LOG功能。6482型皮安表能針對(duì)基線值進(jìn)行相對(duì)讀數(shù)，或者顯示測(cè)量電流 絕對(duì)值的對(duì)數(shù)。
? 后面板三同軸輸入。三同軸輸入確保最優(yōu)的噪聲保護(hù)。其包括的Triax-BNC適 配器，允許在不太介意噪聲的現(xiàn)場(chǎng)部署便宜易用的BNC電纜。

技術(shù)指標(biāo)適用的條件

本文介紹了6482型雙通道皮安表/電壓源的技術(shù)指標(biāo)和補(bǔ)充說明。這些技術(shù)指標(biāo)是測(cè)試6482型雙通道皮安表/ 電壓源依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)。在出廠時(shí)，6482型雙通道皮安表/電壓源符合這些技術(shù)指標(biāo)。補(bǔ)充說明和典型值不在質(zhì)保范 圍內(nèi)，適用于23°C，僅用作有效信息。

精確技術(shù)指標(biāo)適用于普通模式和高電容模式。
6482型儀表提供兩個(gè)獨(dú)立的皮安表/電壓源通道，適合多種測(cè)量應(yīng)用。在6482型儀表的背板上包括每個(gè)通道 的模擬輸出插孔。
這些源和測(cè)量精度在下列條件下適用于6482型終端。
1. 23°C ±5°C，相對(duì)濕度<70%
2. 經(jīng)過1小時(shí)的預(yù)熱
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 啟用A/D自動(dòng)調(diào)零
5. 歸零局部操作
6. 校準(zhǔn)周期=1年

測(cè)量技術(shù)指標(biāo)1

電壓偏移技術(shù)指標(biāo)

模擬輸出技術(shù)指標(biāo)

輸出電壓量程(輸出是反相的) 2: 對(duì)于正滿量程輸入，電壓輸出量程為–10V；對(duì)于負(fù)滿量程輸入，電壓輸出 量程為+10V。
輸出阻抗: 1kΩ（典型值）

典型本底噪聲測(cè)量的技術(shù)指標(biāo)

典型速度與噪聲抑制

公共指標(biāo)

源電容：穩(wěn)定至10.0nF (典型值)。
輸入偏置電流5：50fA（最大值）@ 23°C。
輸入電壓負(fù)擔(dān)6：4.0mV（最大值）。
電壓源斜率：3.0ms/V (典型值)。
共模電壓：200VDC。
共模隔離度：典型值109Ω并聯(lián)150nF。
過量程：測(cè)量量程的105%。
內(nèi)存緩沖：6000讀數(shù) (2個(gè)3000點(diǎn)緩存)。包括 選定的測(cè)量值和時(shí)標(biāo)。
可編程性：IEEE-488.2, RS-232, 用戶定義的5個(gè) 上電狀態(tài)，外加工廠默認(rèn)設(shè)置和*RST。
輸出啟動(dòng)接頭：
輸出啟動(dòng)：有源低輸入。
輸入線：SOT (測(cè)試開始) 觸發(fā)輸入。
電源：100V, 120V, 220V, 240V (±10%), 50Hz 或60Hz, 50VA（最大值）。
保質(zhì)期：1年。
EMC：符合歐盟電磁兼容（EMC）指令。

震動(dòng)：MIL-T-28800F random class 3。
安全性：符合歐盟低壓電器指令。
預(yù)熱：1小時(shí)到相關(guān)精度。
尺寸：
機(jī)架安裝：89mm 高 × 213mm 寬 × 370mm 深(3.5 in. × 8.4 in. × 14.6 in.)
臺(tái)式配置(帶手柄和腳): 104mm高 × 238mm 寬× 370mm 深 (4.1 in. × 9.4 in.× 14.6 in.)
重量：23.1kg (10.5 lb.)
工作環(huán)境：僅限于室內(nèi)。
海拔：高于海平面最大2000米(6562 ft)。
工作：溫度0°–50°C；相對(duì)濕度70% R.H.（最高35°C），在35°–50°C，相對(duì) 濕度降低3%/°C。
存儲(chǔ)：–25°C 到 65°C。

注
1. 速度= 正常 (1.0 NPLC)，篩選。
2. 1年。
3. 在滿量程(以及零)輸入電流情況下，測(cè)量DVin/ΔIin。
4. 在滿量程(20mA) 以及零負(fù)載電流情況下，測(cè)量DVin/ΔIin。
5. 根據(jù)設(shè)計(jì)確定技術(shù)指標(biāo)。
6. 在滿量程(20mA) 以及零輸入電流情況下，在輸入三同軸接頭處進(jìn)行測(cè)量。

泰克Keithley 6400 系列皮安表